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蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設(shè)備有限公司
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水處理設(shè)備廠家

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半導(dǎo)體器件清洗廢水處理方案
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半導(dǎo)體器件清洗廢水處理方案是蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設(shè)備有限公司的主要產(chǎn)品之一,公司專業(yè)提供工業(yè)純水設(shè)備、廢水處理設(shè)備及工程、中水回用設(shè)備及工程,行業(yè)口碑良好,信譽(yù)良好,收費(fèi)合理,本頁面為您介紹技術(shù)詳情,歡迎查看。
產(chǎn)品詳情介紹

項(xiàng)目簡介

某半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廢水情況如下:含氟清洗廢水、研磨清洗廢水、有機(jī)廢水(因產(chǎn)生量較少,濃度高,委托第三方處置單位處置)、酸堿廢水,廢水性質(zhì)主要為清洗廢水,濃度較低,容易處理。廢水經(jīng)過系統(tǒng)處理后達(dá)到國家污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和納管排放。


設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)范及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

本污水處理項(xiàng)目的設(shè)計(jì),施工與安裝嚴(yán)格執(zhí)行國家的專業(yè)技術(shù)規(guī)范與標(biāo)準(zhǔn),其主要規(guī)范與標(biāo)準(zhǔn)如下:

●《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》                  GB8978-1996標(biāo)準(zhǔn)
●《鋼結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)規(guī)范》                   GB50017-2017   
●《固定式鋼梯和平臺(tái)要求》               GB 4053—2009
●《機(jī)械設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》        GB50231-2009
●《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接施工及驗(yàn)收規(guī)范》     GB50236-2011
●《電力裝置的繼電保護(hù)和自動(dòng)裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》     GBT50062-2008
●《電氣裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范》              GB-50254-96
●《分散型控制系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)規(guī)范》           HGT-20573-2012
●《工業(yè)與民用供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》          GB-50052-2009
●《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》           GB50054-2011  


項(xiàng)目由來

該廠區(qū)主要廢水生產(chǎn)廢水來源于以下:

3.1、含氟清洗廢水及處理單元預(yù)估出水情況

處理工藝

項(xiàng)目

水量(t/a)

pH

COD(mg/l)

SS(mg/l)

F-(mg/l)

氯化物(mg/l)

一級(jí)反應(yīng)沉淀池

進(jìn)水

11520

3-4

50

25

300

30

出水

11520

4-5

40

17.5

60

30

去除效率%

-

/

20

30

80

/

二級(jí)反應(yīng)沉淀池

進(jìn)水

11520

4-5

40

17.5

60

30

出水

11520

5-6

32

7

12

30

去除效率%

-

/

20

60

80

/

pH調(diào)節(jié)池

進(jìn)水

11520

5-6

32

7

12

30

出水

11520

6-9

32

7

12

30

3.2、研磨清洗廢水及處理單元預(yù)估出水情況

處理工藝

項(xiàng)目

水量(t/a)

pH

COD(mg/l)

SS(mg/l)

反應(yīng)沉淀

進(jìn)水

3840

6-9

100

800

出水

3840

7-10

100

200

去除效率%

-

/

0

75

pH調(diào)節(jié)池

進(jìn)水

3840

7-10

100

200

出水

3840

6-9

100

200

有機(jī)清洗廢水排放量較少,*為144m3/a,經(jīng)現(xiàn)場收集后委托有資質(zhì)單位處理處置。

酸堿廢水及處理單元預(yù)估出水情況

處理工藝

項(xiàng)目

水量(t/d)

pH

COD

SS

氨氮

總氮

總磷

硫酸鹽

氯化物

一級(jí)反應(yīng)沉淀

進(jìn)水

77220

4-7

60

200

15

40

10

800

70

出水

77220

5-8

48

30

15

36

5

400

70

去除效率%

/

/

20

85

/

10

50

50

/

二級(jí)中和

進(jìn)水

77220

5-8

48

30

15

36

5

400

70

出水

77220

6-9

43

30

15

36

5

400

70

去除效率%

/

/

10

/

/

/

/

/

/

pH調(diào)節(jié)池

進(jìn)水

77220

6-9

43

30

15

36

5

400

70

出水

77220

6-9

43

30

15

36

5

400

70

經(jīng)詳細(xì)了解,該廢水主要污染物為PH、SS值,廢水性質(zhì)簡單,水質(zhì)較穩(wěn)定,未見明顯復(fù)雜成分。經(jīng)過化學(xué)調(diào)整PH和混凝沉淀后,可以保證完全達(dá)標(biāo)。



污水處理工程建設(shè)規(guī)模及處理程度

 4.1處理規(guī)模(按照環(huán)評(píng)意見,每年工作日330天,24小時(shí)生產(chǎn))

序號(hào)

廢水名稱

廢水產(chǎn)生量

1

含氟清洗廢水

10T/h

2

研磨清洗廢水

5t/h

4

酸堿廢水

40t/h

5

合計(jì)

55t/h

考慮到相關(guān)的不確定因素,本方案中設(shè)計(jì)略放余量,按照300t/d廢水處理能力設(shè)計(jì)。


4.2處理出水指標(biāo)

該生產(chǎn)清洗廢水經(jīng)處理后排放,參考標(biāo)準(zhǔn)為《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB8978-1996級(jí)標(biāo)準(zhǔn),具體監(jiān)測因子及水質(zhì)指標(biāo)見下表。

污水排放標(biāo)準(zhǔn)  單位:mg/L (pH值除外)

污染物名稱

水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)限值

標(biāo)準(zhǔn)來源

pH

6~9

《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》

GB8978-1996三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

BOD5

300

COD

500

SS

400

NH3-H

25

動(dòng)植物油

10

石油類

20

磷酸鹽(以p計(jì))

5

總氮

/

氨氮

25

氟化物

20

清洗廢水處理工藝

 5.1前處理清洗廢水處理工藝方案的選擇與確定(具體工藝參見工藝流程圖)

 

5.1.1含氟廢水工藝說明

 含氟清洗廢水進(jìn)入含氟清洗廢水收集池后,經(jīng)過PH調(diào)整、并添加氯化鈣(CaCl2)產(chǎn)生無害的氟化鈣(CaF2)沉淀,經(jīng)投加混凝劑(PAC)、絮凝劑(PAM)進(jìn)行混凝沉降,總除氟效率達(dá)到96%以上。含氟廢水采用氯化鈣作沉淀劑處理工藝,為成熟可靠工藝。

 

5.1.2研磨廢水處理工藝說明

 研磨清洗廢水進(jìn)入研磨廢水收集池均質(zhì)后,通過提升泵提升,調(diào)整pH值后加入PAC,PAM充分反應(yīng)后,進(jìn)入斜管沉淀池,總除SS效率達(dá)到90%,處理后廢水經(jīng)pH調(diào)節(jié)槽進(jìn)入排放系統(tǒng),產(chǎn)生的污泥進(jìn)入污泥槽,經(jīng)污泥脫水形成泥餅,外運(yùn)。

 

5.1.3酸堿廢水處理工藝說明

 一般酸堿廢水采用酸堿中和法處理,酸堿廢水經(jīng)管道收集后流入廢水處理站的酸堿廢水收集池;依次進(jìn)入PH調(diào)整池,PH調(diào)整池中設(shè)計(jì)PH在線檢測儀,根據(jù)PH情況,添加堿液后,再投加一定量的PAC和PAM絮凝劑后,進(jìn)入沉淀池,防止SS值超標(biāo)。

經(jīng)沉淀后的廢水進(jìn)入pH調(diào)節(jié)槽,經(jīng)檢測合格后(pH值達(dá)到6~9范圍內(nèi))排入公司生產(chǎn)廢水排水管道。       

詳情請咨詢蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設(shè)備有限公司,專業(yè)提供工業(yè)純水設(shè)備、廢水處理設(shè)備、中水回用設(shè)備。產(chǎn)品涉及半導(dǎo)體微電子行業(yè)、汽車零部件表面處理、制藥醫(yī)療器械、食品、精洗化工行業(yè)。


半導(dǎo)體器件清洗廢水處理方案
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產(chǎn)品詳情介紹

項(xiàng)目簡介

某半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廢水情況如下:含氟清洗廢水、研磨清洗廢水、有機(jī)廢水(因產(chǎn)生量較少,濃度高,委托第三方處置單位處置)、酸堿廢水,廢水性質(zhì)主要為清洗廢水,濃度較低,容易處理。廢水經(jīng)過系統(tǒng)處理后達(dá)到國家污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和納管排放。


設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)范及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

本污水處理項(xiàng)目的設(shè)計(jì),施工與安裝嚴(yán)格執(zhí)行國家的專業(yè)技術(shù)規(guī)范與標(biāo)準(zhǔn),其主要規(guī)范與標(biāo)準(zhǔn)如下:

●《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》                  GB8978-1996標(biāo)準(zhǔn)
●《鋼結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)規(guī)范》                   GB50017-2017   
●《固定式鋼梯和平臺(tái)要求》               GB 4053—2009
●《機(jī)械設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》        GB50231-2009
●《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接施工及驗(yàn)收規(guī)范》     GB50236-2011
●《電力裝置的繼電保護(hù)和自動(dòng)裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》     GBT50062-2008
●《電氣裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范》              GB-50254-96
●《分散型控制系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)規(guī)范》           HGT-20573-2012
●《工業(yè)與民用供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》          GB-50052-2009
●《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》           GB50054-2011  


項(xiàng)目由來

該廠區(qū)主要廢水生產(chǎn)廢水來源于以下:

3.1、含氟清洗廢水及處理單元預(yù)估出水情況

處理工藝

項(xiàng)目

水量(t/a)

pH

COD(mg/l)

SS(mg/l)

F-(mg/l)

氯化物(mg/l)

一級(jí)反應(yīng)沉淀池

進(jìn)水

11520

3-4

50

25

300

30

出水

11520

4-5

40

17.5

60

30

去除效率%

-

/

20

30

80

/

二級(jí)反應(yīng)沉淀池

進(jìn)水

11520

4-5

40

17.5

60

30

出水

11520

5-6

32

7

12

30

去除效率%

-

/

20

60

80

/

pH調(diào)節(jié)池

進(jìn)水

11520

5-6

32

7

12

30

出水

11520

6-9

32

7

12

30

3.2、研磨清洗廢水及處理單元預(yù)估出水情況

處理工藝

項(xiàng)目

水量(t/a)

pH

COD(mg/l)

SS(mg/l)

反應(yīng)沉淀

進(jìn)水

3840

6-9

100

800

出水

3840

7-10

100

200

去除效率%

-

/

0

75

pH調(diào)節(jié)池

進(jìn)水

3840

7-10

100

200

出水

3840

6-9

100

200

有機(jī)清洗廢水排放量較少,*為144m3/a,經(jīng)現(xiàn)場收集后委托有資質(zhì)單位處理處置。

酸堿廢水及處理單元預(yù)估出水情況

處理工藝

項(xiàng)目

水量(t/d)

pH

COD

SS

氨氮

總氮

總磷

硫酸鹽

氯化物

一級(jí)反應(yīng)沉淀

進(jìn)水

77220

4-7

60

200

15

40

10

800

70

出水

77220

5-8

48

30

15

36

5

400

70

去除效率%

/

/

20

85

/

10

50

50

/

二級(jí)中和

進(jìn)水

77220

5-8

48

30

15

36

5

400

70

出水

77220

6-9

43

30

15

36

5

400

70

去除效率%

/

/

10

/

/

/

/

/

/

pH調(diào)節(jié)池

進(jìn)水

77220

6-9

43

30

15

36

5

400

70

出水

77220

6-9

43

30

15

36

5

400

70

經(jīng)詳細(xì)了解,該廢水主要污染物為PH、SS值,廢水性質(zhì)簡單,水質(zhì)較穩(wěn)定,未見明顯復(fù)雜成分。經(jīng)過化學(xué)調(diào)整PH和混凝沉淀后,可以保證完全達(dá)標(biāo)。



污水處理工程建設(shè)規(guī)模及處理程度

 4.1處理規(guī)模(按照環(huán)評(píng)意見,每年工作日330天,24小時(shí)生產(chǎn))

序號(hào)

廢水名稱

廢水產(chǎn)生量

1

含氟清洗廢水

10T/h

2

研磨清洗廢水

5t/h

4

酸堿廢水

40t/h

5

合計(jì)

55t/h

考慮到相關(guān)的不確定因素,本方案中設(shè)計(jì)略放余量,按照300t/d廢水處理能力設(shè)計(jì)。


4.2處理出水指標(biāo)

該生產(chǎn)清洗廢水經(jīng)處理后排放,參考標(biāo)準(zhǔn)為《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB8978-1996級(jí)標(biāo)準(zhǔn),具體監(jiān)測因子及水質(zhì)指標(biāo)見下表。

污水排放標(biāo)準(zhǔn)  單位:mg/L (pH值除外)

污染物名稱

水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)限值

標(biāo)準(zhǔn)來源

pH

6~9

《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》

GB8978-1996三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

BOD5

300

COD

500

SS

400

NH3-H

25

動(dòng)植物油

10

石油類

20

磷酸鹽(以p計(jì))

5

總氮

/

氨氮

25

氟化物

20

清洗廢水處理工藝

 5.1前處理清洗廢水處理工藝方案的選擇與確定(具體工藝參見工藝流程圖)

 

5.1.1含氟廢水工藝說明

 含氟清洗廢水進(jìn)入含氟清洗廢水收集池后,經(jīng)過PH調(diào)整、并添加氯化鈣(CaCl2)產(chǎn)生無害的氟化鈣(CaF2)沉淀,經(jīng)投加混凝劑(PAC)、絮凝劑(PAM)進(jìn)行混凝沉降,總除氟效率達(dá)到96%以上。含氟廢水采用氯化鈣作沉淀劑處理工藝,為成熟可靠工藝。

 

5.1.2研磨廢水處理工藝說明

 研磨清洗廢水進(jìn)入研磨廢水收集池均質(zhì)后,通過提升泵提升,調(diào)整pH值后加入PAC,PAM充分反應(yīng)后,進(jìn)入斜管沉淀池,總除SS效率達(dá)到90%,處理后廢水經(jīng)pH調(diào)節(jié)槽進(jìn)入排放系統(tǒng),產(chǎn)生的污泥進(jìn)入污泥槽,經(jīng)污泥脫水形成泥餅,外運(yùn)。

 

5.1.3酸堿廢水處理工藝說明

 一般酸堿廢水采用酸堿中和法處理,酸堿廢水經(jīng)管道收集后流入廢水處理站的酸堿廢水收集池;依次進(jìn)入PH調(diào)整池,PH調(diào)整池中設(shè)計(jì)PH在線檢測儀,根據(jù)PH情況,添加堿液后,再投加一定量的PAC和PAM絮凝劑后,進(jìn)入沉淀池,防止SS值超標(biāo)。

經(jīng)沉淀后的廢水進(jìn)入pH調(diào)節(jié)槽,經(jīng)檢測合格后(pH值達(dá)到6~9范圍內(nèi))排入公司生產(chǎn)廢水排水管道。       

詳情請咨詢蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設(shè)備有限公司,專業(yè)提供工業(yè)純水設(shè)備、廢水處理設(shè)備、中水回用設(shè)備。產(chǎn)品涉及半導(dǎo)體微電子行業(yè)、汽車零部件表面處理、制藥醫(yī)療器械、食品、精洗化工行業(yè)。


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