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電子行業高純水設備的用途 :
半導體行業:用于晶元6~12寸切割、清洗、再生、封測用水、半導體設備清洗、電子級無塵布無塵服清洗。
太陽能光伏行業:單晶硅、多晶硅切片清洗、太陽能電池、石英坩堝、多晶硅方舟、光伏玻璃、高純硅粉。
LCD、LED、OLED生產清洗用水,光學攝像頭清洗,光學材料清洗,導電玻璃清洗。
半導體集成電路板,線路板生產清洗用超純水。
鋰電池材料(磷酸鐵鋰、三元材料、鋰電池隔膜)、蓄電池、鋅錳電池生產用水。
電子級超純化學試劑用純水,納米級電子陶瓷材料純水、磁性材料用純水、有色金屬、貴金屬冶煉用水、航空新材料生產用水、電容器材料腐蝕化成工藝用水。
設計參考標準
電子工業純水系統設計規范
中國電子級水質技術指標
電子級水測試方法通則
電子級水電阻率的測試方法
電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
電子工業純水系統設計規范
中國電子級水質技術指標
電子級水測試方法通則
電子級水電阻率的測試方法
電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
處理工藝