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半導體行業晶圓生產廢水排放量大,污染物種類繁多,成分復雜,特別是溶解固體和懸浮固體在含量、酸堿度和金屬雜質等方面存在差異。由于國家對環境保護的要求越來越高,半導體行業晶圓逐漸開始采用高純水設備、零排放技術來解決廢水問題,那么高純水設備、零排放技術的優勢在哪里呢?
高純水設備、零排放技術項目設計說明:
1、純水系統主要包括預處理系統、RO系統、EDI系統、拋光處理系統以及遠程控制系統、監控系統、水量計量系統和其他輔助系統。
2、采用中央監控系統控制純水系統的運行操作,控制模式采用PLC+上位機,采用CPU和服務器無縫冗余。
3、不使用國家明令禁止的產品;對化學品的使用應有泄露應急措施。
4、各級設備應具有余量、備用。
5、系統自動運行,同時也可以切換為手動。
6、采用節約用能設計。
7、超純水泵、EDI增壓泵、RO高壓泵、UF反洗泵、RO供給水泵采用變頻器控制。
8、原水直接來源于業主自行建設的水箱,不再單獨建設原水箱。
高純水設備、零排放技術工藝流程:
1、預處理系統:預處理系統作為反滲透的前處理,主要目的是去除原水中的懸浮物、膠體、色度、濁度、有機物、硬度等妨礙后續反滲透運行的雜質。
2、反滲透系統:反滲透系統承擔了主要的脫鹽任務。
3、精處理系統:精處理系統主要功能是為了進一步除鹽和去除水中的殘余的TOC、溶解氧等。
4、機臺弱電系統:由UPS供電,可切換市電和電池逆變兩種供電模式,額定功率滿足控制系統負荷要求,切斷電源獨立負載控制系統時續航時間不小于30分鐘,電池質保期3年以上。
高純水設備、零排放技術特點:
化學品需求少或零、淤泥產量低、臭氣產生量較低、能量需求低、占地緊湊、滿足嚴格的廢水質量要求、自動化操作等等。
零排放半導體廢水的優點:
回收率高,產水質量高、蒸發/結晶負荷較小、運行穩定、能承受進水水質的波動、有效控制有機物污染堵塞和物理污染堵塞、系統能耗低。
半導體廢水零排放解決方案可用于酸堿廢水、有機廢水、氨氮廢水、含氟廢水等多種廢水。
以上內容是對電子與半導體廢水零排放系統的簡單介紹,希望會對大家有所幫助。創聯凈化公司可以根據不同純水設備和廢水零排放需求為您定制,具體聯系厲經理 13814806794
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